對于二類器械的凈化過程的步驟

時間：2024-07-05作者：深圳金澤環境技術有限公司瀏覽：1071

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• 詞條

  詞條說明

• 半導體車間是整個半導體制造過程中的重要環節

  車間的潔凈度是較關鍵的指標。半導體制造需要在**潔凈環境下進行,因為微小塵埃顆粒就可能造成嚴重缺陷。車間一般采用等級為100級或者10級的潔凈室,這意味著每立方米空氣中不**過100顆或10顆0.5微米以上的塵埃顆粒。這需要嚴格的空氣過濾系統,以及嚴格的人員、物料進出管控。其次,車間的溫濕度控制也非常重要。半導體生產對溫濕度有嚴格的要求,因為溫濕度的變化會影響薄膜沉積、光刻等關鍵工藝。通常要求溫度在2

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