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潔凈無塵車間為什么要控制溫濕度? ? ? 無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下, 可以選擇應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高, 必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中, 作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。 直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24
懸浮分子污染(AMC) 4.1AMC的分類及控制要求情況 AMC作為IC工廠所關心的問題于20年前較先由日本人提出,近年來,IC生產園片直徑已達φ300mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于0.15μm,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率的問題,已被清楚的認識到,因此,AMC的控制已由談論轉到需要實施。 對于IC生產,AMC分為A、B、C、D四類,即: A——酸性物質
什么是十萬級無塵車間?裝修注意事項又是什么? ?十萬級無塵車間:”表示“每立方米空氣中直徑大于等于 0.5um 的灰塵粒的數量少 于 10 萬個”。 ?所謂 10 萬級是指一英尺的空間內允許存在的 0.5 微米的塵埃粒子的個數在 10 萬個以內。 十萬級無塵車間裝修主要事項: 一、彩鋼板隔斷安裝: 相當于大體的框架,材料進場后將所有的隔墻做好,時間依廠房面積來定。無塵車間裝修屬
潔凈車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 青海凈化車間的構成是由下列各項系統所組成: (
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