東日瀛能氣體檢測儀的23個問題8：針對有限空間作業，如何使用氣體檢測儀？

時間：2021-11-30

作者：深圳市東日瀛能科技有限公司

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為什么要使用三氟化氮檢測儀？三氟化氮有什么危害？三氟化氮（nitrogen trifluoride）化學式NF?，在常溫下是一種無色、無臭、性質穩定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業中作為一種優良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時
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