等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用

時間：2020-01-05

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機的活化作用，增強附著力
等離子清洗機表面活化增強附著力如以下的應用范圍：等離子清洗機應用于去除油脂、油、氧化物、纖維，去除硅氧樹脂（LABS-free），邦定、焊接、粘接前預處理，金屬部件涂裝前預處理等。等離子清洗機對電子行業的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理，手機屏幕的表面處理；等離子清洗機對航空航天電連接器的表面清洗；★粘接前、涂裝前、印刷前的預處理，粘接、錫焊、電鍍前的表面處理。★表面活化，生物材料的表面修飾，電線
等離子清洗機用于晶圓處理
等離子清洗機是適用于晶圓級和3D封裝應用的表面處理設備。等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質刻蝕、晶圓凸點、有機污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處
等離子清洗機用于半導體晶圓清洗工藝
等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝中的應用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發性氣體狀態物質被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品的質量等優點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等等離子清洗
等離子清洗機的活化功能
等離子清洗機的表面活化功能在我們生活中因為有許多五顏六色的色彩才讓我們的生活多姿多彩，有一些高分子的材料在印刷過程中，本身材料表面能比較低，油墨很難與材料結合，使用等離子清洗機一方面可以將材料表面清潔干凈。采用等離子清洗機能使物體表面有良好的濕潤性，使得物體在涂漆、粘合、印刷或者壓焊的時候與粘接材料很好的進行粘附附著。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機