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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
【上海普旭真空泵】日常維護(hù)須知1、普旭真空泵定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需換油路管。因為,當(dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能好的降低真空泵溫度,達(dá)到穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時小心對待
如何使用讓旋片式真空泵好的操作(1)使用旋片式真空泵前,按油標(biāo)指示刻度加入真空泵油。旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。(2)用手轉(zhuǎn)動皮帶輪,檢查運(yùn)轉(zhuǎn)情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉(zhuǎn)動方向。(3)泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后.緩慢旋轉(zhuǎn)三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。(4)停止使用泵時,欲保持真空系統(tǒng)有一定的真空度,應(yīng)旋轉(zhuǎn)三通閥,使真空系統(tǒng)封閉,泵的吸氣管與大
真空泵的操作1、開機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補(bǔ)充潤滑油時,應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無誤。?2、試車、開機(jī)與停機(jī)試車1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點動電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對,則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機(jī)1.打開進(jìn)氣口。2.合上電源
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