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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵散熱油管堵塞疏通及日常維護方法:1、找一個干凈的托盤,內倒入足夠量的干凈水,添加入洗滌劑(不可使用腐蝕性洗滌劑)。2、將真空泵散熱油管從真空泵中拆卸下來,用風槍對準一頭的管孔,不管能不能吹出臟物,此步可間斷性操作。3、頭幾次會吹出更多的臟物,等吹到沒有多少東西出來時,將散熱油管置于溶解洗滌劑的托盤內浸泡4-6h。4、在浸泡的過程中,可適當的按照堵塞情況多次拿出用風槍對準管口吹。5、浸泡完后再
真空泵正確使用及保養方法1、經常檢查油位位置,不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時,油位到油標中心為準。?2、經常檢查油質情況,發現油變質應及時換新油,確保真空泵工作正常。?3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當延長換油期
維護與保養1、潤滑油的規范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產生的噪音。?2、日常保養每日或每次運轉
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