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旋片真空泵羅茨泵 從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占**羅茨泵銷售額的比例都沒**過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在**國內市場基
旋片式真空泵真空度下降原因指當下測得的旋片式真空泵真空度比出廠指標或者以前使用時的真空度低。引起真空度低的原因有很多,這里介紹幾種主要的情況。1、這次加的旋片式真空泵油的牌號和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號,由于不同牌號油內的飽和蒸汽壓不一樣,所以其的結果是不一樣的。解決之道:根據產品的型號規格換正確的新真空泵油。2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況,就是真空泵油乳化變色,或者過臟。解決
泵軸軸承位磨損真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產生的熱應力無法完全消除,易造成材質損傷,導致部件出現彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復金屬,無法改變“硬對硬”的配合關系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當代西方國家針對以上問題多使用高分子復合
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
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