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詞條說明
1、機械密封裝置;(1)動環和靜環表面須光潔,不得有任何劃傷,密封面的平面度保持 在0.87um之內。(2)水環真空泵密封裝置處軸的徑向跳動應小于0.03mm。(3)彈簧無裂紋、銹蝕等缺陷,彈簧兩端面與中心線的垂直度偏差應小于5/1000,同一機械密封中各彈簧之間的自由高度差不大于0.5mm。(4)動環和靜環密封端面的瓢偏應不大于0.02mm,兩端面的不平行度應不大于0.04mm。2、 浮動環密封
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
維護與保養1、潤滑油的規范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產生的噪音。?2、日常保養每日或每次運轉
普旭真空泵運轉中的注意點:?????(1)運轉中必須按照羅茨真空泵的技術規格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動機負荷和泵的各部位溫升,在正常運轉情況下,泵的高溫升不得過40℃,高溫度不得過80℃。如果選用水環泵作為前
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