等離子清洗機在芯片鍵合前的應用

時間：2022-03-31作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：231

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  詞條說明

• 等離子體清洗機及設備在5G時代的應用

  低溫等離子體（plasma)技術在很多制造業中得到應用，特別是在汽車、航空及生物醫用部件的表面處理方面。等離子清洗機是“干”清洗工藝，省去了濕法化學處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝,減少了有毒液體的使用，等離子體技術在環保上顯示出優越性。同時，由于兼容納米制造，等離子體技術在大規模工業制造中也具有優勢。等離子體技術對制造業的最大沖擊體現在微電子工業上。如果沒有等離子體的相關技術，大規模集

• 半導體封裝領域等離子清洗機的應用

  等離子體清洗機廣泛應用于電子行業、手機制造業、汽車制造、紡織、生物醫學、新能源及航天航空等行業。如電子器件的涂覆處理、PC塑框粘接前處理、機殼、按鍵鈕等結件表面噴油絲印；PCB表面除膠除污清潔，鏡片粘前處理；電線，電纜噴碼前處理；等離子清洗機在引線鍵合、去除表面沾污等半導體封裝領域的應用:聚合物剝離,金屬剝離,掩膜材料去除,高劑量離子注入后光刻膠去除,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵、磷化銦生產線光刻膠去除

• 等離子清洗機去除晶圓Wafer光刻膠

  等離子清洗機能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗，只能通過等離子清洗機進行去除，晶圓級封裝前等離子清洗機處理的目的是去除表面的無機物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產品的可靠性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統

• 等離子清洗機優化玻璃鍍膜、粘合工藝

  等離子清洗機能有效的改善表面潤濕性，等離子處理機不但可以進行表面清洗，還能提高表面活性，等離子體與物體表面進行化學反應能夠產生活性化學集團，應用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離