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基因芯片又稱作寡核苷酸微陣列,它是通過**固相生成技術或探針固定化技術,將一系列不同序列的寡核苷酸按陣列分布固定在固相載體上?,F階段作為基因微陣列原位生成的載體多以玻璃片和硅單晶,而pp聚丙烯膜、尼龍膜等高分子材料微孔膜,則大多用于點樣法生物芯片的制備,這種膜作為芯片載體熒光背景強,過去必須采用同位素檢測,因而不為人們所青睞。?????  
WAT(Wafer Accept Test)即硅圓片接收測試,就是在半導體硅片完成所有的制程工藝后,對硅圓片上的各種測試結構進行電性測試,它是反映產品質量的一種手段,是產品入庫前進行的一道質量檢驗。? ? ? ??伴隨著半導體技術的發展,等離子體工藝已廣泛應用于集成電路制造中,離子注入、干法刻蝕、干法去膠、UV輻射、薄膜淀積等都可能會引入等離子體損
等離子處理器也屬于干洗法,與傳統的濕法清洗器相比,電漿處理器具備工藝簡單、操作簡單、可控性高、精度高等特點,能一次清理表層不會有殘留物,反觀濕法清理一次清理不干凈還會有殘留物,如果使用大量的溶劑,對環境和人體都會有害。電漿清洗器在使用流程中,有兩種清理流程:化學變化和物理反應。電漿清理性能好,清理快,去除氧化物,**物和物體表層活化效果好,而且在使用流程中不會產生對人體和環境有害的氣體,是一種真正
**場效應晶體管(OFETS)是一種有源裝置,它能夠通過改變柵較電壓來改變半導體層的導電特性,然后操縱通過源漏較的電流。**場效應晶體管作為電路中的基本元件,以其低功耗、高阻抗、、可大面積生產等優點,受到了廣泛的重視,并得到了迅速的發展。其組成元器件主要由電極、**半導體、隔熱層和基板組成,這些元件對OFET的性能有很大影響。通過電漿清洗機對電極、**半導體、絕緣層和基片進行處理,提高了材料的功能
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