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詞條說明
眾所周知,靶材材料的技術發展趨勢與下游應用產業的薄膜技術發展趨勢息息相關,隨著應用產業在薄膜產品或元件上的技術改進,靶材技術也應隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發,預計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發將刻不容緩。另外,近年來平面顯示器(FPD)大幅度取代原以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增加ITO靶材的技術與市場需
簡易說的話,靶材便是快速荷能粒子負電子的總體目標原材料。有金屬材料類、鋁合金類、金屬氧化物類這些。例如:蒸發射頻濺射鍍膜是加溫蒸發鍍膜...鋁模等。拆換不一樣的靶材(如鋁、銅、不銹鋼板、鈦、鎳靶等),就可以獲得不一樣的膜系(如超硬、耐磨損、防腐蝕的鋁合金膜等)。?
公司團隊服務鍍膜領域十二年,對各材料的靶材研發、設計、制造、擁有成熟的經驗;公司與國內外各行業科研院所長期合作,為眾多國內外工程項目提供了優質的靶材產品;公司注重用戶實踐與產品研發,取得多項專利和研發成果。
貴金屬靶材是什么?有什么?選用精練、融化煅造、壓延加工或粉未冶金工業加工工藝生產的半導體元器件、紀錄新聞媒體顯示器件等的布線和塑料薄膜的貴金屬以及合金的濺射靶材。Au、Pt、Pd、Ag靶材用以電子器件和規模性電子器件,CoCrPt、CoPt和CoPd等合金靶材用以磁記錄。輕貴金屬銀、釕、銠、鈀的統稱。相對密度在10~12/cm中間。重貴金屬金、鋨、銥、鉑的統稱,相對密度在19~22g/cm3中間。
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