等離子清洗機改善材料之間的吸附性

時間：2022-04-01

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機去除光學元件污染物
光學元件等離子清洗去除表面有機污染物光學元件等離子體清洗機去除附著的有機污染物，恢復元件的光學性能和表面形貌，同時不能降低其抗污染性能。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合
等離子清洗機鍍膜前處理
?? 等離子清洗機的預處理是采用等離子表面處理機在AF、AS、AG、AR鍍膜（噴涂）工藝前，對基材表面進行精細化清洗、蝕刻和活化，可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于噴涂藥水的附著牢固和厚薄均勻。? ? 1.清洗：等離子清潔機能清除表面的有機物、樹脂、灰塵、油污、雜質等，增加表面能。? ? 2.蝕刻：等離子清洗機能將材料表面改性粗化，蝕
等離子處理機，清洗活化改性
等離子清洗機用于塑膠、玻璃、金屬、高分子聚合物等材料表面的有機物去除、無機物清洗、表面活化、表面刻蝕以及接枝等微觀處理等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等
等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走等離子清