半自動晶圓切割貼膜機(jī)STK-7020適用于 8”& 12”晶圓

時間：2021-04-14作者：上海衡鵬實業(yè)有限公司瀏覽：98

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• 5軸機(jī)械手臂能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局

  5軸機(jī)械手臂能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點： 5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂GTVCR5000系列 實現(xiàn)了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統(tǒng)的機(jī)能，功能 能夠在真空環(huán)境下對應(yīng)并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應(yīng)不同類型設(shè)備的多種布局 通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內(nèi)部容積 非常適合inline設(shè)備 機(jī)械手臂

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