氣浮直線臺主要的特點有哪些

時間：2022-04-17作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：178

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮運動臺,精密運動臺等

• 詞條

  詞條說明

• 氣浮平臺介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項技術(shù)指標是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多

• 氣浮運動臺主要有哪些優(yōu)點

  氣浮運動臺，隨著半導(dǎo)體進入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾

• 氣浮直線臺主要的特點有哪些

  在常見的工業(yè)設(shè)備中，經(jīng)常性會看到一些高精密設(shè)備，其中出現(xiàn)幾率比較高的，就是氣浮直線臺，但是在使用的過程中它到底有著什么樣的特點呢？大部分的人可能都不會特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺的直線度和平面度在亞微米級別，因為氣浮導(dǎo)軌在使用過程中實現(xiàn)的無摩擦運動，具有清潔無污染，免維護，運動精度高的特點。那為什么氣浮直線臺的直線度和平面度比機械線軌的精度高？其實我們可以猜測到，2種產(chǎn)品的導(dǎo)軌是不同的，機械

• 高速精密氣浮平臺及其直線電機驅(qū)動特性

  由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構(gòu)，實現(xiàn)了直接驅(qū)動。因此，直線電機和氣浮導(dǎo)軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點，適合應(yīng)用于精密運動平臺的 設(shè)計之中。但由于直線電機驅(qū)動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，抗干擾能力較差，易產(chǎn)生調(diào)和振