高速精密氣浮平臺及其直線電機驅動特性

時間：2022-05-21作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：132

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉臺,氣浮運動臺,精密運動臺等

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  詞條說明

• 高速精密氣浮平臺及其直線電機驅動特性

  由于氣浮導軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優點；同時，直線電機具有無接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點，在運動系統中能夠直接產生直線運動，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動機構，實現了直接驅動。因此，直線電機和氣浮導軌的結合，能夠充分發揮各自的特點，適合應用于精密運動平臺的 設計之中。但由于直線電機驅動的高速精密氣浮平臺加速度變化的不連續性以及缺少中間彈性阻尼環節，抗干擾能力較差，易產生調和振

• 氣浮運動臺主要有哪些優點

  氣浮運動臺，隨著半導體進入到快速發展的階段，相應的加工檢測設備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設備，主要作用于半導體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復定位高3.? ?速度穩定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾

• 氣浮平臺介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺系統在近代工業生產和科學研究領域內占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規模集成電路生產水平。它的各項技術指標是各國高技術發展水平的重要標志。氣浮平臺系統的定位精度和行程范圍直接影響到生產加工的精度和加工能力。同時工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩定時間則影響到設備的效率，成為系統的重要指標。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多

• 氣浮直線臺主要的特點有哪些

  在常見的工業設備中，經常性會看到一些高精密設備，其中出現幾率比較高的，就是氣浮直線臺，但是在使用的過程中它到底有著什么樣的特點呢？大部分的人可能都不會特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺的直線度和平面度在亞微米級別，因為氣浮導軌在使用過程中實現的無摩擦運動，具有清潔無污染，免維護，運動精度高的特點。那為什么氣浮直線臺的直線度和平面度比機械線軌的精度高？其實我們可以猜測到，2種產品的導軌是不同的，機械