氧化鋁拋光粉（VK-L30F）在藍寶石襯底拋光中的應用
- 時間：2020-01-05作者：宣城晶瑞新材料有限公司瀏覽：1317
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? 金相分析試樣的幾種拋光方法及對拋光粉的要求 ????????????????????????????&nb
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藍寶石拋光用哪種拋光粉較好？ 13305631332，qq:524915046 目前, 在藍寶石的CMP 工藝中, 常用的磨料主要包括金剛石、二氧化硅溶膠、氧化鈰和氧化鋁等磨料。 實驗數據表明，a-氧化鋁拋光粉（VK-L30F，0.3um,球型）在藍寶石拋光過程中的優勢明顯，效果較好。 其一：拋光粉硬度比較： 1）??????
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